Vi mô tơ nhiệt - điện siêu nhỏ chế tạo bằng công nghệ MEMS

Bài báo trình bày thiết kế và mô phỏng một mẫu vi mô tơ quay sử dụng bộ kích hoạt nhiệt điện dạng chữ V. Vi mô tơ có kích thước ngoài 2,4mm, hoạt động với điện áp dẫn tối thiểu Umin=19V trong dải tần số hàng trăm Hz. Ưu điểm nổi bật của loại vi mô tơ này là tiêu thụ năng lượng ít (điện áp dẫn động thấp), hệ thống điều khiển đơn giản, có thể chế tạo hàng loạt dễ dàng dựa trên công nghệ vi cơ khối (Bulk - micromachining).

Từ khóa: Vi mô tơ nhiệt, Vi mô tơ nhiệt - điện siêu nhỏ, Công nghệ MEMS, Công nghệ vi cơ khối, Điện áp dẫn động thấp